高靈敏度：最小可檢漏率5*10E-13Pa*m^3/s
功能豐富：支持正壓、負(fù)壓檢測(cè)
高效可靠：自動(dòng)跟蹤背景、提供快速可靠的檢漏結(jié)果
自我保護(hù)：有超快速保護(hù)功能，有效防止大氣沖入
算法優(yōu)化：優(yōu)化設(shè)計(jì)的質(zhì)譜系統(tǒng)和算法確保在所有量程都能快速響應(yīng)
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儀器概述
HM-400氦質(zhì)譜檢測(cè)儀是一款高靈敏度全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀器，它由質(zhì)譜儀、分子泵、機(jī)械泵、閥體、控制及驅(qū)動(dòng)模塊組成，可適用于正負(fù)壓檢漏場(chǎng)合，也可以和專用機(jī)臺(tái)共用形成自動(dòng)化檢漏系統(tǒng)。
性能規(guī)格
該技術(shù)具有三大顯著優(yōu)勢(shì)：檢測(cè)靈敏度更高、響應(yīng)速度更快、適用范圍更廣
支持正壓檢漏，負(fù)壓檢漏
自動(dòng)跟蹤本底，提供快速可靠的測(cè)量結(jié)果
優(yōu)化設(shè)計(jì)的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應(yīng)
高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確保快速清氦
支持氮?dú)馄瓶?，不受環(huán)境氦氣干擾，快速降低本底
機(jī)器卓越的性能支持7*24小時(shí)長(zhǎng)時(shí)間在線測(cè)試
機(jī)器卓越的性能支持幾秒一次的高頻率測(cè)試
配有檢漏口精細(xì)過(guò)濾器，過(guò)濾細(xì)微雜質(zhì)，確保機(jī)器不受雜質(zhì)影響和損傷
雙銥絲離子源，有效的系統(tǒng)設(shè)計(jì)，防大氣沖擊
支持定制檢漏工作臺(tái)，更加便捷使用
應(yīng)用場(chǎng)景
應(yīng)用行業(yè)：半導(dǎo)體、新能源、醫(yī)療、航空航天、能源化工等行業(yè)。科研院所、航空航天、動(dòng)力鋰電池、閥門、精密儀表、機(jī)械加工、電力、半導(dǎo)體、光伏、真空鍍膜、真空熱處理等。
名稱 | 氦質(zhì)譜檢測(cè)儀 |
規(guī)格型號(hào) | HM-400 |
尺寸 | L760*W370*H1036mm |
電壓及功耗 | 220V10A,50Hz |
重量 | 80kg |
工作壓力 | 40Pa~1500Pa |
顯示 | 觸摸彩屏 |
性能指標(biāo) | |
最小可見(jiàn)漏率（負(fù)壓模式） | 5E-13Pa*m3/s |
最小可見(jiàn)漏率（吸槍模式） | 1E-8Pa*m3/s |
漏率顯示范圍 | 1E-3~1E-13Pa*m3/s |
進(jìn)氣口壓力 | 粗檢：1500Pa |
中檢：200Pa | |
精檢：40Pa | |
啟動(dòng)時(shí)間 | ≤3min |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤1s |
粗抽泵抽速 | 16m3/h(4.4L/s) |
海瑞思公眾號(hào)
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深圳市寶安區(qū)松崗松白路7004號(hào)漢海達(dá)科技園B棟
測(cè)試儀器
