您還在為半導體晶圓制造
良率瓶頸焦慮不已?
良率波動不止?根源可能在“氣”!
昂貴工藝氣體泄漏難防?
腐蝕氣體濃度失控困擾?
微漏難尋,良率成本雙失?
海瑞思RGA密封檢測方案
直擊痛點——
? 實時捕捉波動,保障濃度穩(wěn)定
? 精準快速響應,穩(wěn)定蝕刻工藝
? 變被動為主動預警,守護良率與成本
告別泄漏隱患,穩(wěn)控工藝命脈!
歡迎蒞臨SEMI-e深圳半導體展
14號館K11展位
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現(xiàn)場更有專業(yè)工程師為您答疑解惑,
期待與您相約!
以下是觀展攻略,請速速收藏!
01
觀展時間
參展人員 | 日期 | 時間 |
觀眾 | 9月10-11日 | 9:00-16:30 |
觀眾 | 9月12日 | 9:00-16:00 |
交通指引
02
地鐵:地鐵12號線、20號線直達國展北站(C1、C2出口到達北登錄大廳),可快速往返深圳市區(qū)及機場。
公交:深圳國際會展中心1站: 615路、B892路環(huán)線;深圳國際會展中心2站: M515路、B892路環(huán)線
自駕:A線路由國展立交-鳳塘大道-展城路-P1;B線路由國展立交-鳳塘大道-濱江大道-P5
03
展位路線圖
04展期天氣
溫馨提示:
1. 展會期間可能會有小雨,注意攜帶雨具。
2. 雨天濕度較大,注意保暖,避免受涼。
05
明星產(chǎn)品
HM-100 殘余氣體分析儀↑
高分辨率:<1amu
高靈敏度:最小可檢分壓3*10-14 Torr
寬質(zhì)量數(shù)范圍:1-100amu,可識別H2、He、H2O、N2、O2、CO2等關鍵氣體
HM-200在線質(zhì)譜分析儀↑
采用 RGA 技術直接檢測電解液泄漏,無需檢測氣體,靈敏度高,成本更低; 自帶觸摸顯示屏,操控精準。
HM-400氦質(zhì)譜檢漏儀↑
最小可檢漏率 5*10-13Pa·m3/s; 正壓負壓皆可檢,全面覆蓋需求; 推車式結構輕便高效,適用各類生產(chǎn)環(huán)境; 模塊化緊湊設計,易于系統(tǒng)集成,適用于各種自動化裝配線。
HV-100 VOCs檢測儀↑
檢測精度1ppb,秒級響應;支持多種測試氣體和應用場景;小巧便捷,輕松操作;自動儲存,支持數(shù)據(jù)溯源。
您的困惑,我們都懂
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